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蚀刻机喷头的作用及维护

  1.蚀刻机喷头的介绍:
蚀刻机喷头是蚀刻机喷淋装置中最重要的一个部件,药液喷淋的形状是根据蚀刻机喷头的种类来决定的,不同的蚀刻机喷头所起到的作用是不一样的。蚀刻机喷头

  2.蚀刻机喷头的作用:
主要作用是把蚀刻液均匀的喷淋到工件上,蚀刻机喷头根据蚀刻机每道工序所对应的要求所选择不同的种类。比如:常规情况下蚀刻段选择用扇形,因为蚀刻段对压力的要求比较高,而我们扇形喷嘴喷淋出的液体压力会相对较高;显影段和退膜段我们就采用锥形喷嘴,因为这两处需要覆盖面广,而锥形喷嘴刚好就有这种特性。
扇形喷嘴:扇形喷嘴喷雾     锥形喷嘴:锥形喷嘴喷雾

  3.蚀刻机喷头的维护:
蚀刻液是通过蚀刻机喷头顶端的小孔把药水给喷淋出来,这个小孔的直径是很小的,所以是很容易堵塞的,而我们的蚀刻液沉淀物和腐蚀下来的残渣都是颗粒状的,使用的时间过长了这些固体颗粒物的形成就会堵塞喷头,所以我们需要定期的清理蚀刻机的喷头才能达到良好的腐蚀效果。
堵塞后的喷嘴:喷嘴堵塞

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